Thesis or Dissertation MEMS-based Capacitive Sensor using Silicon Carbide for High Temperature Application

RAKESH, CHAND

2015-03-25
Description
要約のみ
Tohoku University
博士
博士(工学)
11301甲第16448号
田中秀治
Full-Text

http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/60815/1/150325-CHAND-5130-0.pdf

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