会議発表論文 [19a-D101-6] DC重畳RF対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜の特性

白取, 優大  ,  Shiratori, Yuta  ,  ファリスアキラ, ビンモハマドズルキフリ  ,  Faris Akira, Bin Mohd Zulkifly  ,  中田, 和吉  ,  Nakada, Kazuyoshi  ,  宮島, 晋介  ,  Miyajima, Shinsuke

2018-03

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