Conference Paper 大気圧非平衡Arプラズマの発光分光法による電子温度の計測

箱崎, 喜郎  ,  Hakozaki, Yoshiro  ,  大西, 広  ,  Onishi, Hiroshi  ,  根津, 篤  ,  Nezu, Atsushi  ,  赤塚, 洋  ,  AKATSUKA, HIROSHI

pp.07 - 025 , 2018-03 , 公益社団法人 応用物理学会 , The Japan Society of Applied Physics
大気圧非平衡プラズマの電子温度測定報告は少ない。本研究では大気圧Ar非平衡プラズマについて、連続スペクトル発光分光計測、および線スペクトル強度の衝突輻射モデル解釈という2方法により、電子温度計測を試みた。その結果4p-5pの励起温度は3500-4100 Kで、衝突輻射モデルから推定される電子温度は0.5-0.8 eV程度と判明した。この結果は連続スペクトルから見積もった値とおよそ一致した。
There are few reports of measurements of the electron temperature (Te) of atmospheric-pressure non-equilibrium plasma. Therefore, we tried to measure Te of the atmospheric-pressure Ar non-equilibrium plasma by OES measurement of continuum spectra and by CR model interpretation of the line spectral intensity. As a result, we found that the excitation temperature of 4p-5p to be 3500-4100 K, and the resultant Te deduced from the CR model calculation to be about 0.5-0.8 eV. This value almost agreed with the one estimated from the continuum spectra.

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