会議発表論文 ハイブリッド集積に向けたAr-FAB表面活性化接合法のInP/Si接合特性の検討

永坂, 久美  ,  Nagasaka, Kumi  ,  鈴木, 純一  ,  Suzuki, Junichi  ,  御手洗, 拓矢  ,  Mitarai, Takuya  ,  王, 雨寧  ,  Wang, Yuning  ,  雨宮, 智宏  ,  Amemiya, Tomohiro  ,  西山, 伸彦  ,  Nishiyama, Nobuhiko  ,  荒井, 滋久  ,  ARAI, SHIGEHISA

2018-03

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