Conference Paper 超弾性合金製ロッドで支持された2軸高応答ミラー駆動機構の開発

明野, 晃季  ,  Akeno, Koki  ,  清水, 大輔  ,  Shimizu, Daisuke  ,  進士, 忠彦  ,  SHINSHI, TADAHIKO

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