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Study on Geometrical Parameters of Micro Check Valves made of SU-8Study on Geometrical Parameters of Micro Check Valves made of SU-8 SU-8で製作されたマイクロチェックバルブの幾何学的パラメータに関する検討 Study on Geometrical Parameters of Micro Check Valves made of SU-8 |
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"/金, 俊完/"金, 俊完 ,
"/KIM, Joon-wan/"KIM, Joon-wan ,
"/吉田, 和弘/"吉田, 和弘 ,
"/YOSHIDA, KAZUHIRO/"YOSHIDA, KAZUHIRO
(No. 17-1)
2017-09 , 一般社団法人 日本機械学会