会議発表論文 Chemical Solution Deposition of Hafnia-Zirconia Ultrathin Films for Ferroelectric Capacitor

内田, 寛  ,  Uchida, Hiroshi  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI

2016-12

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