Conference Paper 表面活性化接合に向けたAr-FAB照射によるGaInAs/InPウェハのPL特性への影響評価

永坂, 久美  ,  Nagasaka, Kumi  ,  鈴木, 純一  ,  Suzuki, Junichi  ,  雨宮, 智宏  ,  Amemiya, Tomohiro  ,  西山, 伸彦  ,  Nishiyama, Nobuhiko  ,  荒井, 滋久  ,  ARAI, SHIGEHISA

(No. 7a-A504-11) 2017-09

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