Conference Paper InGaAsナノシートチャネルを持つマルチゲートMOSFETに向けた作製プロセス開発

大澤, 一斗  ,  Ohsawa, Kazuto  ,  金澤, 徹  ,  Kanazawa, Toru  ,  木瀬, 信和  ,  Kise, Nobukazu  ,  雨宮, 智宏  ,  Amemiya, Tomohiro  ,  宮本, 恭幸  ,  MIYAMOTO, YASUYUKI

(No. 8a-S22-2) 2017-09

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