Conference Paper Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology

山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  佐布, 晃昭  ,  Safu, Teruaki  ,  橘, 航一朗  ,  Tachibana, Koichiro  ,  寺西, 美波  ,  Teranishi, Minami  ,  陳, 君怡  ,  Chen, Chun Yi  ,  Chang, Tso-Fu Mark  ,  Chang, Tso-Fu Mark  ,  曽根, 正人  ,  Sone, Masato  ,  町田, 克之  ,  Machida, Katsuyuki  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya

pp.2187 - 2190 , 2017-06

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