学術雑誌論文 Analysis of Effective Material Properties of Metal Dummy Fills in a CMOS Chip

平野, 拓一  ,  Hirano, Takuichi  ,  李, 寧  ,  li, ning  ,  岡田, 健一  ,  Okada, Kenichi

E100-B ( No. 5 )  , pp.793 - 798 , 2017-05

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