会議発表論文 HfO2/Al2O3/InGaAsゲート構造における移動度への成膜温度およびH2アニールの影響

大澤, 一斗  ,  Ohsawa, Kazuto  ,  野口, 真司  ,  Noguchi, Shinji  ,  祢津, 誠晃  ,  Seikou, Netsu  ,  木瀬, 信和  ,  Kise, Nobukazu  ,  宮本, 恭幸  ,  MIYAMOTO, YASUYUKI

116 ( no. 431 )  , pp.35 - 40 , 2017-01

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