学術雑誌論文 A Fast Mask Manufacturability and Process Variation Aware OPC Algorithm with Exploiting a Novel Intensity Estimation Model

AWAD, Ahmed  ,  Awad, Ahmed  ,  高橋, 篤司  ,  TAKAHASHI, Atsushi

E99-A ( No. 12 )  , pp.2363 - 2374 , 2016-12
ISSN:1745-1337
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