会議発表論文 YOFセラミックスのプラズマ耐性評価

津之浦, 徹  ,  Tsunoura, Toru  ,  吉田, 克己  ,  Yoshida, Katsumi  ,  矢野, 豊彦  ,  YANO, TOYOHIKO

(# 19p-W621-8) 2016-03

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