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プラズマダメージ低減ECR-MBE 法で作製したIn1-xGaXN、及びIn1-XAlXN 混晶薄膜成長における混晶比制御の検討プラズマダメージ低減ECR-MBE 法で作製したIn1-xGaXN、及びIn1-XAlXN 混晶薄膜成長における混晶比制御の検討 プラズマダメージ低減ECR-MBE 法で作製したIn1-xGaXN、及びIn1-XAlXN 混晶薄膜成長における混晶比制御の検討

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