会議発表論文 A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System

小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  伊藤, 浩之  ,  Ito, Hiroyuki  ,  道正, 志郎  ,  Dosho, Shiro  ,  石原, 昇  ,  Ishihara, Noboru  ,  年吉, 洋  ,  Toshiyoshi, Hiroshi  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya

pp.673 - 674 , 2016-09

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