会議発表論文 A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology

山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  佐布, 晃昭  ,  Safu, Teruaki  ,  年吉, 洋  ,  Toshiyoshi, Hiroshi  ,  曽根, 正人  ,  Sone, Masato  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya  ,  町田, 克之  ,  Machida, Katsuyuki

pp.485 - 486 , 2016-09

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