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Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's DiseaseDevelopment of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease

"/益, 一哉/"益, 一哉  ,  "/Masu, Kazuya/"Masu, Kazuya  ,  "/山根, 大輔/"山根, 大輔  ,  "/Yamane, Daisuke/"Yamane, Daisuke  ,  "/町田, 克之/"町田, 克之  ,  "/Machida, Katsuyuki/"Machida, Katsuyuki  ,  "/曽根, 正人/"曽根, 正人  ,  "/Sone, Masato/"Sone, Masato  ,  "/三宅, 美博/"三宅, 美博  ,  "/Miyake, Yoshihiro/"Miyake, Yoshihiro

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