Conference Paper 固相成長による配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価

三村, 和仙  ,  Mimura, Takanori  ,  片山, きりは  ,  Katayama, Kiriha  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  内田, 寛  ,  Uchida, Hiroshi  ,  木口, 賢紀  ,  Kiguchi, Takanori  ,  今野, 豊彦  ,  Konno, Toyohiko  ,  坂田, 修身  ,  Sakata, Osami  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI

2016-03

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