Conference Paper 酸化物薄膜の構造解析~HfO2基極薄膜の斜方晶相について~

白石, 貴久  ,  Shiraishi, Takahisa  ,  片山, きりは  ,  Katayama, Kiriha  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI  ,  木口, 賢紀  ,  Kiguchi, Takanori  ,  今野, 豊彦  ,  Konno, Toyohiko

2016-03

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