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酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～ 酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～

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