Conference Paper レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga2O3 薄膜の低温エピタキシー

松田, 晃史  ,  Matsuda, Akifumi  ,  吉本, 護  ,  YOSHIMOTO, MAMORU  ,  金子, 智  ,  Kaneko, Satoru

2016-03

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