学術雑誌論文 Preparation of Ca–Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties

上原, 睦雄  ,  Uehara, Mutsuo  ,  秋山, 賢輔  ,  Akiyama, Kensuke  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  松島, 正明  ,  matsushima, masaaki  ,  内田, 寛  ,  Uchida, Hiroshi  ,  木村, 好里  ,  KIMURA, YOSHISATO  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI

45 ( No. 6 )  , pp.3121 - 3126 , 2016-03

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