Conference Paper スパッタリング法によるCa-Mg-Si 基膜熱電材料の特性評価

上原, 睦雄  ,  Uehara, Mutsuo  ,  黒川, 満央  ,  Kurokawa, Mao  ,  秋山, 賢輔  ,  Akiyama, Kensuke  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  松島, 正明  ,  matsushima, masaaki  ,  内田, 寛  ,  Uchida, Hiroshi  ,  木村, 好里  ,  KIMURA, YOSHISATO  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI

2016-01

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