Conference Paper RFマグネトロンスパッタリング法による{110}高配向Ba(Ce,Y)O3ぺロブスカイト薄膜の作製

佐藤, 智也  ,  Sato, Tomoya  ,  一ノ瀬, 大地  ,  Ichinose, Daichi  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI

2015-09

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