Conference Paper KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価

金子, 智  ,  Kaneko, Satoru  ,  松田, 晃史  ,  Matsuda, Akifumi  ,  吉本, 護  ,  YOSHIMOTO, MAMORU

2015-09

Number of accesses :  

Other information