|
KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価 KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価 |
"/金子, 智/"金子, 智 ,
"/Kaneko, Satoru/"Kaneko, Satoru ,
"/松田, 晃史/"松田, 晃史 ,
"/Matsuda, Akifumi/"Matsuda, Akifumi ,
"/吉本, 護/"吉本, 護 ,
"/YOSHIMOTO, MAMORU/"YOSHIMOTO, MAMORU