学術雑誌論文 Pulse voltage determination for electrostatic micro manipulation considering surface conductivity and adhesion of glass particle

藤原, 亮  ,  Fujiwara, Ryo  ,  HEMTHAVY, PASOMPHONE  ,  HEMTHAVY, PASOMPHONE  ,  高橋, 邦夫  ,  TAKAHASHI, KUNIO  ,  齋藤, 滋規  ,  SAITO, Shigeki

52015-05 , AIP

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