会議発表論文 CSD 由来HfO2-ZrO2 固溶体薄膜の結晶構造と誘電特性

片山, きりは  ,  Katayama, Kiriha  ,  白石, 貴久  ,  Shiraishi, Takahisa  ,  清水, 荘雄  ,  Shimizu, Takao  ,  舟窪, 浩  ,  FUNAKUBO, HIROSHI  ,  内田, 寛  ,  Uchida, Hiroshi

2015-05

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