Conference Paper ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上

西川, 純平  ,  Nishikawa, Jumpei  ,  中野, 雅之  ,  Nakano, Masayuki  ,  稗田, 純子  ,  Hieda, Junko  ,  大竹, 尚登  ,  OHTAKE, NAOTO  ,  赤坂, 大樹  ,  Akasaka, Hiroki

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