Conference Paper 微細孔を利用したアモルファスカーボン膜の密着性の向上

水田, 翔太  ,  Mizuta, Shouta  ,  西村, 優汰  ,  Nishimura, Yuta  ,  青野, 祐子  ,  Aono, Yuko  ,  平田, 敦  ,  HIRATA, ATSUSHI

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