Conference Paper 熱ナノインプリント法によるポリマーシート上への原子スケール形状転写における雰囲気・表界面状態の影響

木下, 太一郎  ,  Kinoshita, Taichiro  ,  嶋田, 航大  ,  Shimada, Kodai  ,  小山, 浩司  ,  Koyama, Koji  ,  三田, 正弘  ,  金子, 智  ,  Kaneko, Satoru  ,  松田, 晃史  ,  Matsuda, Akifumi  ,  吉本, 護  ,  YOSHIMOTO, MAMORU

2016-09 , The Japan Society of Applied Physics , 公益社団法人 応用物理学会

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