会議発表論文 Solid-phase Epitaxial Crystallization of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films by Pulsed KrF Excimer Laser Annealing towards Low-Temperature Device Fabrication

塩尻, 大士  ,  shiojiri, daishi  ,  福田, 大二  ,  Fukuda, Daiji  ,  土嶺, 信男  ,  Tsuchimine, Nobuo  ,  小山, 浩司  ,  Koyama, Koji  ,  金子, 智  ,  Kaneko, Satoru  ,  松田, 晃史  ,  Matsuda, Akifumi  ,  吉本, 護  ,  YOSHIMOTO, MAMORU

2015-11 , Materials Research Society

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