Conference Paper 熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化

嶋田, 航大  ,  Shimada, Kodai  ,  譚, ゴオン  ,  Tan, Geng  ,  野沢, 靖久  ,  Nozawa, Yasuhisa  ,  浦上, 達宣  ,  Urakami, Tatsuhiro  ,  小山, 浩司  ,  Koyama, Koji  ,  金子, 智  ,  Kaneko, Satoru  ,  松田, 晃史  ,  Matsuda, Akifumi  ,  吉本, 護  ,  YOSHIMOTO, MAMORU

2015-09 , The Japan Society of Applied Physics , 公益社団法人 応用物理学会

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