会議発表論文 A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology

山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  佐布, 晃昭  ,  Safu, Teruaki  ,  伊藤, 浩之  ,  Ito, Hiroyuki  ,  年吉, 洋  ,  Toshiyoshi, Hiroshi  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya  ,  町田, 克之  ,  Machida, Katsuyuki

pp.299 - 300 , 2016-06

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