会議発表論文 電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理によるアモルファスシリコン薄膜の消光係数の低減

山下, 雄也  ,  Yamashita, Yuya  ,  清水, 大雅  ,  Shimizu, Hiromasa  ,  鮫島, 俊之  ,  Sameshima, Toshiyuki

pp.27 - 28 , 2016-03

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