会議発表論文 Effect of High Plasma Density on Heteroepitaxial Diamond Nucleation on 3C-SiC/Si Substrates

矢板, 潤也  ,  Yaita, Junya  ,  岩崎, 孝之  ,  Iwasaki, Takayuki  ,  波多野, 睦子  ,  Hatano, Mutsuko

2015-12

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