会議発表論文 小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価

高安, 基大  ,  Takayasu, Motohiro  ,  權田, 惇晟  ,  Gonda, Toshiaki  ,  山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  伊藤, 浩之  ,  Ito, Hiroyuki  ,  道正, 志郎  ,  Dosho, Shiro  ,  石原, 昇  ,  Ishihara, Noboru  ,  町田, 克之  ,  Machida, Katsuyuki  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya

2016-05
内容記述
慣性センサの小型・高感度化は、より微弱な振動観測を可能とし、身体の震えのモニタリングによる難病の早期診断や電車の乗り心地改善など、より広い分野での応用が期待される。今回我々は、開発したMEMS慣性センサと容量デジタル変換(CDC)ICを組合せ、慣性センサモジュールを試作した。MEMS慣性センサは、質量の大きい金を錘として用いることによりブラウニアンノイズを低減し、高感度動作を可能としている。また、CDC-ICは19.5ビット分解能の市販品(AD7747)を用い、モジュール化に際し耐雑音性を考慮し配線レイアウトを行った。その結果、分解能十数mG程度、サイズ4.6 cm3、電源電圧3.3 Vのデジタル出力慣性センサモジュールを実現した。

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