Conference Paper Self-Aligned Quadruple Patterningのための3色グリッド上の異色ネットを考慮した配線手法

本江, 俊幸  ,  Hongo, Toshiyuki  ,  高橋, 篤司  ,  TAKAHASHI, Atsushi

115 ( No. 465 )  , pp.137 - 142 , 2016-03

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