学術雑誌論文 超磁歪素子の自己検知機能を利用した微小位置決め機構の開発

田村, 勇樹  ,  Tamura, Yuuki  ,  吉岡, 勇人  ,  Yoshioka, Hayato  ,  新野, 秀憲  ,  SHINNO, HIDENORI  ,  澤野, 宏  ,  sawano, hiroshi

81 ( No. 832 )  , pp.1 - 13 , 2015-12

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