会議発表論文 Low-loss Waveguide Fabrication in III-V/SOI Hybrid Integration using Plasma Activated Bonding

鈴木, 純一  ,  Suzuki, Junichi  ,  林, 侑介  ,  Hayashi, Yuusuke  ,  久能, 雄輝  ,  Kuno, Yuki  ,  雨宮, 智宏  ,  Amemiya, Tomohiro  ,  西山, 伸彦  ,  Nishiyama, Nobuhiko  ,  荒井, 滋久  ,  ARAI, SHIGEHISA

(No. TuP22) 2015-08

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