Conference Paper マスク位置ずれに対する耐性を持つLELECUTトリプルパターニングのためのマスク割り当て手法

小平, 行秀  ,  Kohira, Yukihide  ,  松井, 知己  ,  Matsui, Tomomi  ,  高橋, 篤司  ,  TAKAHASHI, Atsushi

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