Conference Paper シリコンナノワイヤ/Al2O3薄膜のキャリアライフタイムのアニール温度依存性評価

加藤, 慎也  ,  Kato, Shinya  ,  山崎, 竜也  ,  Yamazaki, Tatsuya  ,  黒川, 康良  ,  Kurokawa, Yasuyoshi  ,  宮島, 晋介  ,  Miyajima, Shinsuke  ,  小長井, 誠  ,  KONAGAI, MAKOTO

2015-05

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