Conference Paper 非Maxwell電子エネルギー分布プラズマの電子温度に関する統計力学的考察

田中, 昌徳  ,  Tanaka, Yoshinori  ,  赤塚, 洋  ,  AKATSUKA, HIROSHI

We reconsider electron temperature of non-equilibrium plasmas based on entropy. First, we solve Boltzmann equation and obtain EEDF of the non-equilibrium plasma. Then the EEDF gives mean electron energy and entropy, which is calculated from the Gibbs equation. Finally, we obtain electron "temperature" by the taking of derivative of entropy, and discuss values of each temperature.
低電離度プラズマでは、クーロン衝突より原子分子衝突が支配的となり、電子エネルギー分布関数EEDFは非Maxwellとなる。この場合のEEDFをBoltzmann方程式から求め、その平均エネルギー<ε>とエントロピーSを換算電界E/Nの関数として求め、1/T = ∂S/∂<ε> と温度を定義することにより、非Maxwellエネルギー分布を持つ電子の「温度」を、統計力学的に再考する事を目的とする。

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