会議発表論文 Fabrication of SmCo films using facing targets sputtering system with sputtering Ar and Xe gas

高村, 陽太  ,  Takamura, Yota  ,  酒井, 秀忠  ,  Sakai, Hidetada  ,  中川, 茂樹  ,  Nakagawa, Shigeki

DD-012015-05

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