学術雑誌論文 A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass

山根, 大輔  ,  Yamane, Daisuke  ,  松島, 隆明  ,  Matsushima, Takaaki  ,  小西, 敏文  ,  Konishi, Toshifumi  ,  年吉, 洋  ,  Toshiyoshi, Hiroshi  ,  益, 一哉  ,  Masu, Kazuya  ,  町田, 克之  ,  Machida, Katsuyuki

22pp.459 - 464 , 2015-04 , Springer Berlin Heidelberg
ISSN:0946-70761432-1858

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