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高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法 An Evaluation Method of Brownian Noise in Highly Sensitive Capacitive Sensors 高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法 |
山根, 大輔 , Yamane, Daisuke , 小西, 敏文 , Konishi, Toshifumi , 松島, 隆明 , Matsushima, Takaaki , 亀井, 将太 , Kamei, Shota , 益, 一哉 , Masu, Kazuya , 町田, 克之 , Machida, Katsuyuki
135
(
no. 4
)
, pp.142
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143 , 2015-04 , 一般社団法人 電気学会
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