Thesis or Dissertation LSI多層配線における低誘電率層間絶縁膜に関する研究

遠藤, 和彦

1999-03 , [出版者不明]
Description
制度:新 ; 文部省報告番号:乙1443号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:1999-03-4 ; 早大学位記番号:新2817 ; 理工学図書館請求番号:2366
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