Thesis or Dissertation レーザ再結晶化法による非晶質絶縁膜上への単結晶シリコン成長に関する研究

小椋, 厚志

1990 , [出版者不明]
Description
制度:新 ; 文部省報告番号:乙816号 ; 学位の種類:工学博士 ; 授与年月日:1991-03-07 ; 早大学位記番号:新1701 ; 理工学図書館請求番号:1456
Full-Text

https://waseda.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=17775&item_no=1&attribute_id=20&file_no=1

Number of accesses :  

Other information