Thesis or Dissertation c軸平行もしくはc軸垂直極性反転多層AlN系薄膜の形成とその高次モード音響共振子への応用

鈴木, 雅視  ,  スズキ, マサシ  ,  Suzuki, Masashi

2015-03-23
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主査:一瀬 郁夫
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